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微纳电子技术文章目录
杂志名称:
微纳电子技术
期刊级别:
核心期刊
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
主管单位:
中华人民共工业和信息化部
国内刊号:
CN 13-1314/TN
国际刊号:
ISSN 1671-4776
发表周期:
月刊
邮发代号:
18-60
往期文章
硅基III-V族纳米线晶体管
基于环形谐振腔的双波长半导体激光器的研制
背势垒对InAlN/GaN异质结构中二维电子气的影响
静电纺丝技术制备三维纳米结构研究进展
氮化铝面内伸缩模态谐振器的研究现状
高线密度X射线双光栅的研制
TMAH+Triton中Si湿法腐蚀机理研究现状
碱性阻挡层抛光液各成分对CMP的影响
不同磨料质量分数对化学机械平坦化的影响
碱性铜抛光液在CMP工艺中的性能评估
第十二届固态和集成电路技术国际会议
第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知(第二轮)
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杂志创刊时间:1998年
杂志社地址:河北省石家庄市
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